В учебном пособии рассмотрены принципы работы компонентов радиочастотных микроэлектромеханических систем и описаны примеры использования современных технологий их моделирования с использованием программного комплекса ANSYS.
Предназначено для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств". Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 110000 "Электроника, радиотехника и системы связи".