Учебное пособие «Средства создания устройств микросистемной техники: материалы, технологии, деградационные процессы, основные про-
изводители и тенденции развития» включает в свой состав разделы, посвященные современным материаловедческо-технологическим вопросам
изготовления устройств микросистемной техники, сведениям о системах автоматизированного проектирования, деградационным процессам под
влиянием дестабилизирующих факторов, данным об основных разработчиках и производителях, а также прогнозу развития микросистемной техники.
Пособие предназначено для студентов, обучающихся по специальности 2.28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» при изучении
дисциплины «Основы конструирования микросистемной техники», а также в качестве вспомогательного материала магистрантам по направлению подготовки 2.12.04.01 «Приборостроение» по дисциплине «Нано- и мик-
росистемная техника и технология в производстве приборов и измерительных систем летательных аппаратов» и аспирантам по специальностям
2.28.06.01 «Нанотехнологии и наноматериалы», 2.11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», 2.11.02.13 «Твердотельная электроника».